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多功能真空鍍膜設備的構造是怎樣的?

發(fā)布時(shí)間:2023-05-15 17:50:45訪(fǎng)問(wèn):7559

  多功能真空鍍膜機是一種混合設備,它采用磁控濺射、多弧離子和蒸發(fā)鍍膜的技術(shù)。在多弧離子鍍膜機的基礎上,該設備還配備了圓柱形靶或平面磁控管靶。這個(gè)設備的特點(diǎn)是具有高電離率和快速堆積速度的離子鍍技術(shù),以及低溫和高穩定性的磁控濺射技術(shù)。因此,它適用于各種復合膜的鍍覆。如果想了解更詳細的信息,可以了解多功能真空鍍膜機-磁力控制、中頻、多弧離子鍍膜。

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  蒸發(fā)和磁控濺射相結合的設備:

  這款產(chǎn)品具備多種功能,適用于大批量生產(chǎn),并具有高度適應性。

  磁控濺射和多弧離子鍍的混合應用:

  增加火炮的多弧功能可以提高清洗質(zhì)量,增強薄膜與基體的附著(zhù)力。與磁控濺射同時(shí)運作可以制造出復合膜,高能離子源在清潔和活化方面起到快速成膜的作用。

  利用中頻磁控濺射靶和柱弧離子鍍相結合的技術(shù),進(jìn)行混合應用。

  中頻靶材如鋁更為穩定,具有高電離速率、快速堆積速率和均勻成膜。

  采用中頻反應濺射技術(shù),可將SiO2和TiO2等不同材料的多層薄膜堆疊在一起。

  采用射頻、直流、中頻和柱弧的混合應用:

  RF可以直接涂覆絕緣保護膜,例如SiO2/Ag/SiO2。

  重寫(xiě):

  可以直接在RF上涂覆絕緣保護膜,一種常見(jiàn)的組合是SiO2/Ag/SiO2。

  使用圓柱形電極、中頻電源和多弧放電技術(shù)的混合應用:

  柱弧技術(shù)可以保證高電離率的結合,降低了大顆粒沉積的比例,從而實(shí)現了優(yōu)良的附著(zhù)力和表面光潔度效果。


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